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金融界2024年12月24日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京北方华创微电子配备有限公司获得一项名为“半导体工艺设备的卡盘组件与半导体工艺设备”的专利,授权公告号CN 114156206 B,请求日期为2021年11月。
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